-
Individualus Al2O3 keraminių plokštelių griebtuvo apdorojimas
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
ST.CERA pritaikyta puslaidininkių įrangos keraminė plokštė
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
12 colių aliuminio oksido vakuuminis griebtuvas 300 mm plokštelių apdorojimui
„St.Cera“ 12 colių vakuuminis griebtuvas yra tiksliai pagamintas iš 99,8 % gryno aliuminio oksido (Al₂O₃), skirtas 300 mm plokštelių apdorojimui. Griebtuvo paviršius yra smulkiai išraižytas (griovelio plotis 0,5–1,0 mm, žingsnis 2–3 mm), kad būtų užtikrintas tolygus vakuumo pasiskirstymas per visą 300 mm skersmenį. Plokštumas išlaikomas 5 μm tikslumu, todėl plokštelės nesideformuoja pjaustant kubeliais, šlifuojant galinę pusę ir tikrinant. Didelis medžiagos lenkimo stipris (361 MPa) ir kietumas (16 GPa) garantuoja ilgalaikį matmenų stabilumą net ir esant pakartotiniams vakuuminiams ciklams.
-
Puslaidininkinių zondų įrangos keraminės atsarginės dalys
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
Keraminių plokščių puslaidininkių įrangos nešiklis
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
Puslaidininkių įrangos keraminės atsarginės dalys
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
Didelio grynumo aliuminio oksido keraminis sandarinimo žiedas aukštos temperatūros kamerų sandarinimui
„St.Cera“ keraminis sandarinimo žiedas sukurtas kaip alternatyva polimeriniams O žiedams ekstremaliose aplinkose, kuriose elastomerai degraduoja. Pagamintas iš 99,8 % gryno aliuminio oksido (Al₂O₃), šis standus sandarinimo žiedas naudojamas statinėse sandarinimo srityse – paprastai kartu su minkštu metaliniu arba grafitiniu tarpikliu – siekiant užtikrinti patikimą vakuumo arba dujų sulaikymą iki 800 °C temperatūroje ir agresyvioje plazmos ar cheminėje aplinkoje. Medžiaga neišskiria dujų, pasižymi dideliu gniuždymo stiprumu (pagrindinis lenkimo stipris 361 MPa) ir cheminiu inertiškumu (atspari halogenams, rūgštims ir šarmams, išskyrus HF). Tiksliai nušlifuoti sandarinimo paviršiai (lygumas ≤5 μm, paviršiaus šiurkštumas Ra ≤0,2 μm) užtikrina sandarų kontaktą su atitinkamais metaliniais arba keraminiais komponentais.
-
Didelio grynumo aliuminio oksido kamerinis fokusavimo žiedas plazminio ėsdinimo ir CVD sistemoms
„St.Cera“ kameros fokusavimo žiedas yra labai svarbus proceso rinkinio komponentas, naudojamas plazminio ėsdinimo, CVD ir PVD puslaidininkių įrangoje. Pagamintas iš 99,8 % didelio grynumo aliuminio oksido (Al₂O₃), žiedas supa plokštelės kraštą, kad suvaržytų plazmą ir optimizuotų jonų kampinį pasiskirstymą, taip pagerindamas ėsdinimo vienodumą visame plokštelės paviršiuje. Medžiaga pasižymi išskirtiniu plazmos atsparumu, dideliu dielektriniu stiprumu (15 × 10⁶ V/m) ir terminiu stabilumu iki 1600 °C, užtikrinant ilgalaikį patikimumą agresyvioje fluoro ar chloro pagrindu veikiančioje plazmos aplinkoje. Tiksliai šlifuotas vidinis/išorinis skersmuo ir plokštumas (≤10 μm) leidžia tiksliai pozicionuoti plokštelės kraštą, sumažinant kraštų defektus ir dalelių susidarymą.
-
Didelio grynumo aliuminio oksido keraminis žiedas CVD / PVD procesų kameroms
„St.Cera“ keraminis žiedas yra specialiai sukurtas naudoti CVD (cheminio garų nusodinimo) ir PVD (fizikinio garų nusodinimo) procesų kamerose. Pagamintas iš 99,8 % didelio grynumo aliuminio oksido (Al₂O₃), šis žiedas naudojamas kaip kameros įdėklas, fokusavimo žiedas arba proceso rinkinio komponentas, skirtas plazmai apriboti ir kameros sienelėms apsaugoti nuo erozijos. Medžiaga pasižymi puikiu plazmos atsparumu, dideliu dielektriniu stiprumu (15×10⁶ V/m) ir terminiu stabilumu iki 1600 °C, užtikrinant ilgą tarnavimo laiką agresyvioje fluoro pagrindu sukurtoje plazmos aplinkoje. Tikslūs matmenų tolerancijos (±0,05 mm vidinio/išorinio skersmens atžvilgiu) ir plokštumas (≤10 μm) leidžia nuosekliai pozicionuoti plokštelių kraštus, pagerinti nusodinimo vienodumą ir sumažinti dalelių susidarymą.
-
Porėtas keraminis vakuuminis griebtuvas deformuotų vaflių tvarkymui
„St.Cera“ porėtas keraminis griebtuvas pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido, kurio vienodas atvirojo poringumo laipsnis yra 30–45 %, o porų dydis svyruoja nuo 10 iki 100 μm. Skirtingai nuo įprastų griebtuvų su grioveliais, porėtas paviršius užtikrina paskirstytą vakuumą visoje plokštelės nugarėlėje, efektyviai laikydamas deformuotas, plonas ar vientisas plokšteles be kraštų pakilimo ar lūžimo. Švelnus vakuumas (reguliuojamas ribotuvu) taip pat apsaugo nuo galinės pusės žymėjimo.
-
Aliuminio oksido pagrindu pagamintas porėtas keraminis vakuuminis griebtuvas plonoms plokštelėms apdoroti
„St.Cera“ aliuminio oksido pagrindu pagamintas porėtas griebtuvas pagamintas iš 99,6 % didelio grynumo Al₂O₃, kurio kontroliuojamas atvirasis poringumas yra 30–45 %, o porų dydis – nuo 10 iki 50 μm. Skirtingai nuo griovelių griebtuvų, porėtas paviršius užtikrina paskirstytą vakuumą visoje plokštelės nugarėlėje, pašalindamas kraštų žymes ir leisdamas švelniai laikyti itin plonas (≤100 μm) arba deformuotas plokšteles. Medžiagos lenkimo stipris yra ≥250 MPa, o terminis stabilumas ore siekia iki 400 °C.
-
Aliuminio oksido dujų paskirstymo plokštė CVD/PVD dušo galvutei
„St.Cera“ dujų paskirstymo plokštė (dušo galvutė) yra tiksliai pagaminta iš didelio grynumo (99,8 % aliuminio oksido) keramikos. Joje yra daugybė mikroskylučių (0,3–1,5 mm skersmens), kurios užtikrina tolygų dujų srautą per plokštelės paviršių CVD, PVD arba ALD procesų metu. Dėl didelio plokštės dielektrinio stiprumo (>15 × 10⁶ V/m) ir plazmos varžos ji yra būtina puslaidininkinių plonasluoksnių nusodinimui.
