Aliuminio nitrido (AlN) keramika, pasižyminti dideliu šilumos laidumu (monokristalo teorinis šilumos laidumas yra 275 W/m▪k, polikristalo teorinis šilumos laidumas yra 70–210 W/m▪k), maža dielektrine konstanta, monokristalo silicio šiluminio plėtimosi koeficientu ir geromis elektros izoliacijos savybėmis, kartu su tradicinių Al₂O₃ ir BeO substratų medžiagų visapusiškais eksploataciniais pranašumais, yra ideali medžiaga grandynų substratams ir pakuotėms mikroelektronikos pramonėje. Dėl gerų mechaninių savybių, terminių savybių ir cheminio stabilumo aukštoje temperatūroje ji taip pat yra svarbi medžiaga aukštos temperatūros konstrukciniams keraminiams komponentams.
Teorinis AlN tankis yra 3,26 g/cm3, MOHS kietumas yra 7–8, savitoji varža kambario temperatūroje yra didesnė nei 1016 Ωm, o šiluminis plėtimosi koeficientas yra 3,5 × 10⁻⁶/℃ (kambario temperatūroje 200 ℃). Gryna AlN keramika yra bespalvė ir skaidri, tačiau dėl priemaišų ji gali būti įvairių spalvų, pavyzdžiui, pilka, pilkšvai balta arba šviesiai geltona.
Be didelio šilumos laidumo, AlN keramika turi ir šiuos privalumus:
1. Gera elektros izoliacija;
2. Panašus šiluminio plėtimosi koeficientas kaip ir silicio monokristalui, pranašesnis už tokias medžiagas kaip Al₂O₃ ir BeO;
3. Didelis mechaninis stiprumas ir panašus lenkimo stipris kaip ir Al2O3 keramikoje;
4. Vidutinė dielektrinė konstanta ir dielektriniai nuostoliai;
5. Palyginti su BeO, AlN keramikos šilumos laidumui temperatūra, ypač aukštesnė nei 200 ℃, daro mažesnę įtaką;
6. Atsparumas aukštai temperatūrai ir korozijai;
7. Netoksiškas;
8. Taikomas puslaidininkių pramonėje, chemijos metalurgijos pramonėje ir kitose pramonės srityse.
Įrašo laikas: 2023 m. liepos 14 d.