12 colių aliuminio oksido vakuuminis griebtuvas 300 mm plokštelių apdorojimui
„St.Cera“ 12 colių vakuuminis griebtuvas yra tiksliai pagamintas iš 99,8 % gryno aliuminio oksido (Al₂O₃), skirtas 300 mm plokštelių apdorojimui. Griebtuvo paviršius yra smulkiai išraižytas (griovelio plotis 0,5–1,0 mm, žingsnis 2–3 mm), kad būtų užtikrintas tolygus vakuumo pasiskirstymas per visą 300 mm skersmenį. Plokštumas išlaikomas 5 μm tikslumu, todėl plokštelės nesideformuoja pjaustant kubeliais, šlifuojant galinę pusę ir tikrinant. Didelis medžiagos lenkimo stipris (361 MPa) ir kietumas (16 GPa) garantuoja ilgalaikį matmenų stabilumą net ir esant pakartotiniams vakuuminiams ciklams.
Specifikacijos (remiantis 99,8 % Al₂O₃ kiekiu):
| Nekilnojamasis turtas | Vertė |
| Skersmuo | 300 mm (12 colių) |
| Medžiaga | 99,8 % aliuminio oksido (dramblio kaulo spalvos) |
| Tankis | 3,93 g/cm³ |
| Lenkimo stipris | 361 MPa |
| Vickerso kietumas | 16 GPa |
| Plokštumas (virš 300 mm) | ≤5 μm |
| Griovelio plotis | 0,5–1,0 mm |
| Maksimali darbinė temperatūra | 800 °C |
| Dielektrinė stiprybė | 15 × 10⁶ V/m |
Paraiškos:
300 mm plokštelių pjaustymas kubeliais ir įbrėžimas
Plokštelės galinės pusės šlifavimas (plona plokštelės atrama)
Optinis patikrinimas ir zondavimas
Laikini sujungimo / išjungimo griebtuvai
Gamyba:
CNC šlifuotas ir nušlifuotas iki galutinio lygumo, grioveliai išgraviruoti deimantiniais diskais, ultragarsu išvalyti ir supakuoti 100 klasės švarioje patalpoje. Kiekvienas griebtuvas 100 % patikrinamas dėl lygumo (lazeriniu interferometru) ir griovelių gylio (profilometru).
Privalumai:
Mažas dalelių susidarymas (≤0,05 dalelių/cm²)
Chemiškai inertiškas tirpikliams ir rūgštims
ESD atsparus paviršius (varža >10¹³ Ω·cm)
Galimi individualūs vakuuminių skylių raštai ir galinės angos.
