Didelio grynumo aliuminio oksido keraminis žiedas CVD / PVD procesų kameroms
„St.Cera“ keraminis žiedas yra specialiai sukurtas naudoti CVD (cheminio garų nusodinimo) ir PVD (fizikinio garų nusodinimo) procesų kamerose. Pagamintas iš 99,8 % didelio grynumo aliuminio oksido (Al₂O₃), šis žiedas naudojamas kaip kameros įdėklas, fokusavimo žiedas arba proceso rinkinio komponentas, skirtas plazmai apriboti ir kameros sienelėms apsaugoti nuo erozijos. Medžiaga pasižymi puikiu plazmos atsparumu, dideliu dielektriniu stiprumu (15×10⁶ V/m) ir terminiu stabilumu iki 1600 °C, užtikrinant ilgą tarnavimo laiką agresyvioje fluoro pagrindu sukurtoje plazmos aplinkoje. Tikslūs matmenų tolerancijos (±0,05 mm vidinio/išorinio skersmens atžvilgiu) ir plokštumas (≤10 μm) leidžia nuosekliai pozicionuoti plokštelių kraštus, pagerinti nusodinimo vienodumą ir sumažinti dalelių susidarymą.
Specifikacijos (remiantis 99,8 % Al₂O₃):
| Nekilnojamasis turtas | Vertė |
| Medžiaga | 99,8 % aliuminio oksido (dramblio kaulo spalvos) |
| Tankis | 3,93 g/cm³ |
| Vandens absorbcija | 0% |
| Lenkimo stipris | 361 MPa |
| Atsparumas lūžiams | 3–4 MPa·m¹/² |
| Vikerso kietumas | 16 GPa |
| Youngo modulis | 380 GPa |
| Šilumos laidumas | 32 W/m·k |
| Šiluminis plėtimasis (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Dielektrinė stiprybė | 15 × 10⁶ V/m |
| Specifinis pasipriešinimas | >10¹⁴ Ω·cm |
| Maksimali darbinė temperatūra | 1600 °C |
Paraiškos:
- · CVD kameros fokusavimo žiedai ir kraštų žiedai
- · PVD kameros apsauginiai žiedai ir spaustukai
- · Ėsdinimo kameros įdėklai ir dangtelio žiedai
- · Plazmos sulaikymo žiedai dielektrinėse ėsdinimo sistemose
Gamybos procesas:
Izostatinis presavimas → žaliasis apdirbimas → sukepinimas 1600 °C temperatūroje → CNC ID/OD šlifavimas → paviršiaus poliravimas → ultragarsinis valymas → 100 % CMM patikra. Itin lygus paviršiaus apdirbimas (Ra ≤0,4 μm) sumažina dalelių sukibimą.
Kokybės kontrolė:
- · 100 % matmenų patikrinimas (vidinis skersmuo, išorinis skersmuo, storis, plokštumas)
- · Dažų skverbties patikra paviršiaus mikroįtrūkimams nustatyti
- · Dielektrinio stiprumo bandymas pagal ASTM D149
- · Po 20 kartų mikroskopu nematyti spalvos pakitimų ar poringumo
Privalumai, palyginti su metaliniais ar kvarciniais žiedais:
- · 5–10 kartų ilgesnis tarnavimo laikas nei aliuminio žiedų fluoro plazmoje
- · Plonose plėvelėse nėra metalų užterštumo
- · Didesnis atsparumas plazmai nei kvarcui (nėra erozijos įdubimų)
- · Išlaiko elektros izoliaciją >10¹⁴ Ω·cm net ir po ilgalaikio naudojimo
Alternatyvi medžiaga — silicio nitridas (Si₃N₄):
Taikymams, kuriems reikalingas dar didesnis atsparumas lūžiui (6,2 MPa·m¹/²) ir geresnis atsparumas terminiam smūgiui (plėtimosi koeficientas 3,2 × 10⁻⁶/℃), galima įsigyti Si₃N₄ žiedų. Tačiau daugumai CVD/PVD taikymų aliuminio oksidas yra ekonomiškesnis. Užsakydami nurodykite pageidaujamą medžiagą.
Pritaikymas:
- · Kiauryminės skylės, laiptuoti profiliai arba įdubimai tvirtinimui
- · Y₂O₃ danga padengtas paviršius, siekiant didesnio atsparumo plazmai (pasirinktinai)
- · Dalies numerio / partijos kodo lazerinis graviravimas
Pastaba:Aukščiau pateikti duomenys griežtai atitinka pateiktą Al₂O₃ savybių lentelę. Informacijos apie Si₃N₄ žiedus ieškokite atskirame pateiktame Si₃N₄ duomenų lape.
