Didelio grynumo aliuminio oksido keraminis sandarinimo žiedas aukštos temperatūros kamerų sandarinimui
„St.Cera“ keraminis sandarinimo žiedas sukurtas kaip alternatyva polimeriniams O žiedams ekstremaliose aplinkose, kuriose elastomerai degraduoja. Pagamintas iš 99,8 % gryno aliuminio oksido (Al₂O₃), šis standus sandarinimo žiedas naudojamas statinėse sandarinimo srityse – paprastai kartu su minkštu metaliniu arba grafitiniu tarpikliu – siekiant užtikrinti patikimą vakuumo arba dujų sulaikymą iki 800 °C temperatūroje ir agresyvioje plazmos ar cheminėje aplinkoje. Medžiaga neišskiria dujų, pasižymi dideliu gniuždymo stiprumu (pagrindinis lenkimo stipris 361 MPa) ir cheminiu inertiškumu (atspari halogenams, rūgštims ir šarmams, išskyrus HF). Tiksliai nušlifuoti sandarinimo paviršiai (lygumas ≤5 μm, paviršiaus šiurkštumas Ra ≤0,2 μm) užtikrina sandarų kontaktą su atitinkamais metaliniais arba keraminiais komponentais.
Specifikacijos(remiantis 99,8 % Al₂O₃):
| Nekilnojamasis turtas | Vertė |
| Medžiaga | 99,8 % aliuminio oksido (dramblio kaulo spalvos) |
| Tankis | 3,93 g/cm³ |
| Vandens absorbcija | 0% |
| Lenkimo stipris | 361 MPa |
| Gniuždymo stipris (apytikslis) | >2000 MPa |
| Vickerso kietumas | 16 GPa |
| Šiluminis plėtimasis (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Maksimali darbinė temperatūra | 800 °C (oras), 1600 °C (inertinė terpė) |
| Paviršiaus apdaila (sandarinimo paviršius) | Ra ≤0,2 μm (uždaryto sluoksnio) |
| Plokštumas (kas 25 mm) | ≤5 μm |
| Helio nuotėkio greitis | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (su tinkama tarpine) |
Paraiškos:
- · Puslaidininkių proceso kameros statiniai sandarikliai (CVD, PVD, ėsdinimas)
- · Aukštos temperatūros krosnies durelių sandarikliai
- · Vakuuminiai pralaidumo flanšai
- · Cheminio reaktoriaus korpuso uždarymai
Gamybos procesas:
Izostatinis presavimas → sukepinimas 1600 °C temperatūroje → tikslus dvipusis šlifavimas, siekiant itin plokščių, glotnių sandarinimo paviršių → briaunų nuožulninimas → valymas ultragarsu. Kiekvienas žiedas 100 % sandarumo patikrinamas helio nuotėkio detektoriumi su standartine metaline tarpine.
Kokybės kontrolė:
- · KMM matmenų patikrinimas (vidinis, išorinis skersmuo, storis, lygiagretumas)
- · Paviršiaus profilometras Ra ir banguotumui matuoti
- · Plokštumo matavimas naudojant optinį plokščią
- · Helio nuotėkio bandymas (atgalinio slėgio metodas)
Privalumai, palyginti su polimeriniais O žiedais:
- · Atlaiko 800°C, palyginti su <300°C FFKM
- · Nulinis dujų išsiskyrimas – vakuuminė aplinka neužteršiama
- · Atsparus visoms plazmos cheminėms medžiagoms (fluorui, chlorui, deguoniui)
- · Nėra suspaudimo deformacijos ar likutinės deformacijos
- · Neribotas tarnavimo laikas švarioje aplinkoje
Apribojimai (svarbios pastabos):
- · Ne O formos žiedas— tai standus keraminis žiedas, kuriam sandarinti reikalinga minkšta tarpinė (vario, aliuminio arba grafito).
- · Netinka dinaminiam judėjimui ar dideliam flanšo nesutapimui.
- · Didesnė pradinė kaina nei polimerinių O žiedų, tačiau ilgesnis tarnavimo laikas sumažina eksploatavimo išlaidas.
- · Trapūs – elkitės atsargiai; venkite smūgių ar lenkimo įtempio.
Pastaba:Aukščiau pateikti duomenys griežtai atitinka pateiktą Al₂O₃ savybių lentelę. Elastomerinių medžiagų duomenys nebuvo pateikti. Šis produktas yra statinis sandarinimo žiedas, o ne elastomerinis O formos žiedas. Patikrinkite, ar tai atitinka jūsų taikymo reikalavimus.
