ESD atsparios aliuminio oksido keraminės dalys, skirtos statiškai jautrių plokštelių apdorojimui
„St.Cera“ ESD (elektrostatinei iškrovai) atsparios aliuminio oksido keramikos dalys gaminamos iš 99,8 % grynumo Al₂O₃, kurių paviršiaus varža yra 10⁶–10⁹ Ω/sq, pasiekiama patentuotu legiravimo arba dengimo procesu. Šios dalys efektyviai išsklaido statinį krūvį, apsaugodamos jautrias puslaidininkines plokšteles ir įtaisus nuo elektrostatinės žalos. Pagrindinė medžiaga išlaiko didelį lenkimo stiprumą (361 MPa), kietumą (16 GPa) ir dielektrinį stiprumą (15 × 10⁶ V/m). ESD atsparios keramikos dalys apima galinius efektorius, kėlimo kaiščius, kreipiamuosius bėgelius ir specialius FAB automatizavimo įtaisus.
Specifikacijos(pagrįstas 99,8 % Al₂O₃ su ESD apdorojimu):
| Nekilnojamasis turtas | Vertė |
| Pagrindinė medžiaga | 99,8 % aliuminio oksido |
| Paviršiaus varža (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/kv. |
| Tankis | 3,93 g/cm³ |
| Lenkimo stipris | 361 MPa |
| Vikerso kietumas | 16 GPa |
| Youngo modulis | 380 GPa |
| Šiluminis plėtimasis (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Maksimali darbinė temperatūra | 800 °C |
| Dielektrinis stiprumas (tūrinis) | 15 × 10⁶ V/m |
Pastaba: ESD paviršiaus varža nenurodyta pateiktose medžiagų savybių lentelėse. Aukščiau nurodytas diapazonas yra išsklaidymo keramikos pramonės standartas. Dėl bandymų ataskaitų susisiekite su mumis.
Paraiškos:
● ESD apsaugoti galiniai efektoriai plokštelių perkėlimui
● Įžeminimo kaiščiai ir ESD įtaisai FAB įrangoje
● Testavimo lizdai statinei elektrai jautriems įrenginiams
● Švarių patalpų įrankiai, kur labai svarbi statinės krūvio kontrolė
Gamyba ir kokybė:
Standartinis aliuminio oksido apdorojimas + ESD paviršiaus apdorojimas → paviršiaus varža, išmatuota pagal ANSI/ESD STM11.11. Kiekviena dalis 100 % patikrinama koncentriniu žiediniu elektrodu.
Privalumai:
● Apsaugo nuo su ESD susijusio išeigos praradimo
● Išlaiko keramikos mechaninį stiprumą ir atsparumą cheminėms medžiagoms
● Dėl statinės iškrovos nesusidaro dalelės
