-
Puslaidininkinių zondų įrangos keraminės atsarginės dalys
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
Keraminių plokščių puslaidininkių įrangos nešiklis
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
Puslaidininkių įrangos keraminės atsarginės dalys
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
Didelio grynumo aliuminio oksido keraminis sandarinimo žiedas aukštos temperatūros kamerų sandarinimui
„St.Cera“ keraminis sandarinimo žiedas sukurtas kaip alternatyva polimeriniams O žiedams ekstremaliose aplinkose, kuriose elastomerai degraduoja. Pagamintas iš 99,8 % gryno aliuminio oksido (Al₂O₃), šis standus sandarinimo žiedas naudojamas statinėse sandarinimo srityse – paprastai kartu su minkštu metaliniu arba grafitiniu tarpikliu – siekiant užtikrinti patikimą vakuumo arba dujų sulaikymą iki 800 °C temperatūroje ir agresyvioje plazmos ar cheminėje aplinkoje. Medžiaga neišskiria dujų, pasižymi dideliu gniuždymo stiprumu (pagrindinis lenkimo stipris 361 MPa) ir cheminiu inertiškumu (atspari halogenams, rūgštims ir šarmams, išskyrus HF). Tiksliai nušlifuoti sandarinimo paviršiai (lygumas ≤5 μm, paviršiaus šiurkštumas Ra ≤0,2 μm) užtikrina sandarų kontaktą su atitinkamais metaliniais arba keraminiais komponentais.
-
Didelio grynumo aliuminio oksido kamerinis fokusavimo žiedas plazminio ėsdinimo ir CVD sistemoms
„St.Cera“ kameros fokusavimo žiedas yra labai svarbus proceso rinkinio komponentas, naudojamas plazminio ėsdinimo, CVD ir PVD puslaidininkių įrangoje. Pagamintas iš 99,8 % didelio grynumo aliuminio oksido (Al₂O₃), žiedas supa plokštelės kraštą, kad suvaržytų plazmą ir optimizuotų jonų kampinį pasiskirstymą, taip pagerindamas ėsdinimo vienodumą visame plokštelės paviršiuje. Medžiaga pasižymi išskirtiniu plazmos atsparumu, dideliu dielektriniu stiprumu (15 × 10⁶ V/m) ir terminiu stabilumu iki 1600 °C, užtikrinant ilgalaikį patikimumą agresyvioje fluoro ar chloro pagrindu veikiančioje plazmos aplinkoje. Tiksliai šlifuotas vidinis/išorinis skersmuo ir plokštumas (≤10 μm) leidžia tiksliai pozicionuoti plokštelės kraštą, sumažinant kraštų defektus ir dalelių susidarymą.
-
Didelio grynumo aliuminio oksido keraminis žiedas CVD / PVD procesų kameroms
„St.Cera“ keraminis žiedas yra specialiai sukurtas naudoti CVD (cheminio garų nusodinimo) ir PVD (fizikinio garų nusodinimo) procesų kamerose. Pagamintas iš 99,8 % didelio grynumo aliuminio oksido (Al₂O₃), šis žiedas naudojamas kaip kameros įdėklas, fokusavimo žiedas arba proceso rinkinio komponentas, skirtas plazmai apriboti ir kameros sienelėms apsaugoti nuo erozijos. Medžiaga pasižymi puikiu plazmos atsparumu, dideliu dielektriniu stiprumu (15×10⁶ V/m) ir terminiu stabilumu iki 1600 °C, užtikrinant ilgą tarnavimo laiką agresyvioje fluoro pagrindu sukurtoje plazmos aplinkoje. Tikslūs matmenų tolerancijos (±0,05 mm vidinio/išorinio skersmens atžvilgiu) ir plokštumas (≤10 μm) leidžia nuosekliai pozicionuoti plokštelių kraštus, pagerinti nusodinimo vienodumą ir sumažinti dalelių susidarymą.
-
Bernoulli keraminis efektorius – bekontaktis plokštelių apdorojimas plonoms ir trapioms plokštelėms
„St.Cera Bernoulli“ keraminis galinis efektorius naudoja aerodinaminę kėlimo jėgą, kad galėtų apdoroti plokšteles be fizinio kontakto. Pagamintas iš didelio grynumo 99,8 % aliuminio oksido (Al₂O₃) arba silicio karbido (SiC), jame yra tiksliai apdirbti purkštukai, kurie išstumia suslėgtas dujas ir sukuria ploną oro plėvelę tarp galinio efektoriaus ir plokštelės. Šis nekontaktinis principas pašalina užpakalinės pusės užterštumą, kraštų nuskilinėjimą ir paviršiaus pažeidimus, todėl jis idealiai tinka plonoms (≤100 μm), trapioms ar deformuotoms plokštelėms. Keraminis substratas pasižymi dideliu lenkimo stiprumu (361 MPa Al₂O₃; iki 550–600 MPa SiC), maža mase ir puikiu matmenų stabilumu, užtikrinant pakartojamą pozicionavimą greitaeigiuose plokštelių perkėlimo robotuose.
-
Didelio grynumo aliuminio oksido keraminės dalys puslaidininkių ir pramoninėms reikmėms
„St.Cera“ gamina tiksliai apdirbtas aliuminio oksido (Al₂O₃) keramines detales pagal klientų specifikacijas. Pagaminti iš 99,8 % gryno aliuminio oksido, šie komponentai pasižymi puikiu lenkimo stiprumu (361 MPa), dideliu kietumu (16 GPa) ir išskirtiniu dielektriniu stiprumu (15 × 10⁶ V/m). Sukurta puslaidininkinei įrangai, dilimui atspariems mazgams, elektros izoliatoriams ir aukštai temperatūrai atspariems įtaisams, medžiaga beveik neįgeria vandens (0 %), o jos šiluminio plėtimosi koeficientas yra 7,2 × 10⁻⁶/℃, užtikrinant matmenų stabilumą ekstremaliomis sąlygomis.
-
Porėtas keraminis vakuuminis griebtuvas deformuotų vaflių tvarkymui
„St.Cera“ porėtas keraminis griebtuvas pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido, kurio vienodas atvirojo poringumo laipsnis yra 30–45 %, o porų dydis svyruoja nuo 10 iki 100 μm. Skirtingai nuo įprastų griebtuvų su grioveliais, porėtas paviršius užtikrina paskirstytą vakuumą visoje plokštelės nugarėlėje, efektyviai laikydamas deformuotas, plonas ar vientisas plokšteles be kraštų pakilimo ar lūžimo. Švelnus vakuumas (reguliuojamas ribotuvu) taip pat apsaugo nuo galinės pusės žymėjimo.
-
Aliuminio oksido pagrindu pagamintas porėtas keraminis vakuuminis griebtuvas plonoms plokštelėms apdoroti
„St.Cera“ aliuminio oksido pagrindu pagamintas porėtas griebtuvas pagamintas iš 99,6 % didelio grynumo Al₂O₃, kurio kontroliuojamas atvirasis poringumas yra 30–45 %, o porų dydis – nuo 10 iki 50 μm. Skirtingai nuo griovelių griebtuvų, porėtas paviršius užtikrina paskirstytą vakuumą visoje plokštelės nugarėlėje, pašalindamas kraštų žymes ir leisdamas švelniai laikyti itin plonas (≤100 μm) arba deformuotas plokšteles. Medžiagos lenkimo stipris yra ≥250 MPa, o terminis stabilumas ore siekia iki 400 °C.
-
Aliuminio oksido dujų paskirstymo plokštė CVD/PVD dušo galvutei
„St.Cera“ dujų paskirstymo plokštė (dušo galvutė) yra tiksliai pagaminta iš didelio grynumo (99,8 % aliuminio oksido) keramikos. Joje yra daugybė mikroskylučių (0,3–1,5 mm skersmens), kurios užtikrina tolygų dujų srautą per plokštelės paviršių CVD, PVD arba ALD procesų metu. Dėl didelio plokštės dielektrinio stiprumo (>15 × 10⁶ V/m) ir plazmos varžos ji yra būtina puslaidininkinių plonasluoksnių nusodinimui.
-
Keraminis atraminis kaištis puslaidininkių procesų įrangai
„St.Cera“ keraminiai atraminiai kaiščiai (dar vadinami kėlimo kaiščiais arba atraminiais kaiščiais) naudojami puslaidininkių procesų kamerose, kad būtų galima pakelti plokšteles arba substratus juos tvarkant, kaitinant arba aušinant. Šie kaiščiai pagaminti iš 99,8 % aliuminio oksido arba silicio nitrido, todėl pasižymi dideliu gniuždymo stiprumu, terminiu stabilumu ir atsparumu cheminėms medžiagoms. Pusrutulio arba plokščio antgalio konstrukcija apsaugo plokšteles nuo subraižymo.
