Keraminis atraminis kaištis puslaidininkių procesų įrangai
„St.Cera“ keraminiai atraminiai kaiščiai (dar vadinami kėlimo kaiščiais arba atraminiais kaiščiais) naudojami puslaidininkių procesų kamerose, kad būtų galima pakelti plokšteles arba substratus juos tvarkant, kaitinant arba aušinant. Šie kaiščiai pagaminti iš 99,8 % aliuminio oksido arba silicio nitrido, todėl pasižymi dideliu gniuždymo stiprumu, terminiu stabilumu ir atsparumu cheminėms medžiagoms. Pusrutulio arba plokščio antgalio konstrukcija apsaugo plokšteles nuo subraižymo.
Specifikacijos(Aliuminio oksidas 99,8 %):
| Nekilnojamasis turtas | Vertė |
| Medžiaga | 99,8 % Al₂O₃ arba Si₃N₄ |
| Ilgis | 10–100 mm |
| Skersmuo | 1–10 mm |
| Patarimo forma | Plokščias, pusrutulio formos, smailus |
| Gniuždymo stipris (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Maksimali darbinė temperatūra (Al₂O₃) | 1600 °C |
| Paviršiaus apdaila | Šlifuotas (Ra ≤0,4 μm) |
| Skersmens tolerancija | ±0,01 mm |
Paraiškos:
Pakėlimo kaiščiai CVD/PVD kamerose
Atraminiai kaiščiai kepimui kaitvietėje
Zondo kortelės atraminės konstrukcijos
Kvarcinės krosnies valčių atramos
Gamyba:
Tikslus išorinio skersmens becentris šlifavimas → antgalio profilio deimantinis šlifavimas → ultragarsinis valymas → 100 % matmenų patikrinimas.
Kokybės kontrolė:
KMM ilgiui/skersmeniui matuoti, optinis komparatorius antgalio spinduliui matuoti, apkrovos bandymas gniuždymo stiprumui patikrinti (atsitiktinis pavyzdys iš kiekvienos partijos). Nėra feromagnetinės taršos (patikrinama magnetu).
Privalumai, palyginti su metaliniais arba kvarciniais kaiščiais:
5 kartus ilgesnis tarnavimo laikas nei nerūdijančio plieno
Proceso kameroje nėra metalinių teršalų
Didesnis temperatūros atsparumas nei kvarcui (1600 °C, palyginti su 1100 °C)
Nelipnus paviršius (sumažintas dalelių sukibimas)
Pritaikymas:
Keli antgalių profiliai, srieginis pagrindas arba kūginis velenas.
Taip pat tiekiame SiC kontaktus ekstremalioms plazmos aplinkoms.
