-
ST.CERA Individualiai pritaikyta puslaidininkių įranga Keraminiai griebtuvai
Svarbiausias puslaidininkių lauko procesas turi būti atliekamas švarioje patalpoje, ypač tiems prietaisams, kurie turėtų būti naudojami aukštoje temperatūroje, vakuume ir korozinėse dujose. Keramika gali išlaikyti didelį stabilumą sudėtingoje fizinėje ir cheminėje aplinkoje.
-
ST.CERA Individualiai pritaikyta puslaidininkinė įranga Keraminė plokštė
Svarbiausi puslaidininkių lauko procesai turi būti atliekami švarioje patalpoje, ypač tie įtaisai, kurie turėtų būti naudojami aukštoje temperatūroje, vakuume ir korozinėse dujose. Keramika gali išlaikyti didelį stabilumą sudėtingoje fizinėje ir cheminėje aplinkoje.
-
ST.CERA pritaikytas puslaidininkinis keraminis fokusavimo žiedas
Svarbiausias puslaidininkių lauko procesas turi būti atliekamas švarioje patalpoje, ypač tiems prietaisams, kurie turėtų būti naudojami aukštoje temperatūroje, vakuume ir korozinėse dujose. Keramika gali išlaikyti didelį stabilumą sudėtingoje fizinėje ir cheminėje aplinkoje.
-
ST.CERA pritaikyta 99,5 % aliuminio oksido keraminė krautuvo rankena
Keraminis galinis efektorius / manipuliatorius montuojamas ant plokštelių manipuliavimo roboto arba „galinių efektorių“ ir naudojamas silicio plokštelėms perkelti į kasetes arba proceso kameras arba iš jų.
Keramikos naudojimo privalumai yra deformacijos sumažinimas dėl didelio lenkimo stiprumo, atsparumas aukštai temperatūrai ir metalo užterštumo bei dalelių pašalinimas. -
ST.CERA pritaikytas aliuminio oksido keraminis galinis efektorius
ST.CERA siūlo ESD dangą ir ESD keraminę medžiagą – efektorių. Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorojamas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdirbimo Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
ST.CERA pritaikytas puslaidininkinis keraminis fokusavimo žiedas
Pagamintos iš didelio grynumo (virš 99,5 %) aliuminio oksido keramikos, suformuotos šaltojo izostatinio presavimo būdu ir sukepintos aukštoje temperatūroje, o tada tiksliai apdirbtos ir poliruotos, keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkinės įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija.
Dėl atsparumo aukštai temperatūrai, atsparumo korozijai, atsparumo dilimui ir izoliacijos savybių keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, kurioje veikia aukšta temperatūra, vakuumas arba korozinės dujos.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
ST.CERA pritaikyta puslaidininkių tiksli aliuminio oksido keraminė įvorė
Pagamintos iš didelio grynumo (virš 99,5 %) aliuminio oksido keramikos, suformuotos šaltojo izostatinio presavimo būdu ir sukepintos aukštoje temperatūroje, o tada tiksliai apdirbtos ir poliruotos, keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkinės įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija.
Dėl atsparumo aukštai temperatūrai, atsparumo korozijai, atsparumo dilimui ir izoliacijos savybių keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, kurioje veikia aukšta temperatūra, vakuumas arba korozinės dujos.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
ST.CERA pritaikytas aliuminio oksido keraminis vakuuminis efektorius
Tai dėklo tipo keraminis galinis efektorius / valdymo svirtis, naudojama vakuumo sąlygomis.
Keraminis galinis efektorius / rankena yra „atsparesnė karščiui“, „mažiau krypstanti“ ir „lengvesnė“, palyginti su metaliniais.
Dėl atsparumo aukštai temperatūrai, atsparumo korozijai, atsparumo dilimui ir izoliacijos savybių keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, kurioje veikia aukšta temperatūra, vakuumas arba korozinės dujos.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
ST.CERA pritaikyti 99,5 % aliuminio oksido keraminiai vamzdžiai ir keraminiai strypai
Dėl atsparumo aukštai temperatūrai, atsparumo korozijai, atsparumo dilimui ir izoliacijos savybių keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, kurioje veikia aukšta temperatūra, vakuumas arba korozinės dujos.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
ST.CERA pritaikytas aliuminio oksido keraminių galinių efektorių plokštelių apdorojimas
„ST.CERA“ siūlo ESD dangą ir ESD keraminę medžiagą – galinį efektorių / rankeną su įmontuotu tuščiaviduriu kanalu. Mes specializuojamės technikoje, kuri suformuoja vakuuminį oro kanalą vieno medžiagos gabalo viduje nenaudojant klijų.
Nėra užteršimo, dujų išsiskyrimo ar dalelių rizikos. ST.CERA vakuuminis galinis efektorius / valdymo svirtis su specialia dangos technologija yra elektriškai izoliuota. Taip pat galime tiekti ESD keraminę medžiagą su elektra izoliuota medžiaga be jokios dangos.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃. -
Aliuminio oksido keramikos galinio efektoriaus puslaidininkių įrangos komponentai
Apsaugokite nuo dalelių, kurios gali susidaryti nuo nuožulnių ar kampuotų kraštų ir galinio paviršiaus, kai plokštelės yra transportuojamos arba liečiasi su galiniu efektoriumi / laikymo svirtimi.
Kreipiamiesiems elementams pasirinkta minkšta medžiaga, kuri nepažeidžia plokštelės.
Skiedimas galimas naudojant integruotą ST.CERA vakuuminio kanalo technologiją, kurioje nenaudojami klijai.
Galima padaryti tvirtinimo angas ir keisti pagrindo, prie kurio prie roboto tvirtinamas galinis efektorius / valdymo svirtis, ilgį bei plotį.
Jutiklių, varžtų ir laikiklių tvirtinimas galimas kaip papildoma įranga.
Sukurta naudoti atmosferoje.
-
Individualus CNC apdirbimas iš „St.Cera“ keraminių efektorių
„ST.CERA“ siūlo vakuuminį keraminį galinį efektorių / valdymo svirtį su įmontuotu tuščiaviduriu kanalu. Mes specializuojamės technikoje, kuri suformuoja vakuuminį oro kanalą vieno medžiagos gabalo viduje nenaudojant klijų.
Nėra užteršimo, dujų išsiskyrimo ar dalelių rizikos. ST.CERA vakuuminiai galiniai efektoriai / valdymo svirtys su įmontuotu kanalu yra patvarūs ir gali būti naudojami aukštoje temperatūroje. Be to, mūsų gamybos sąnaudas galima sumažinti atsisakant nereikalingo surinkimo.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
