ST.CERA pritaikytas puslaidininkinis keraminis fokusavimo žiedas
Pagamintos iš didelio grynumo (virš 99,5 %) aliuminio oksido keramikos, suformuotos šaltojo izostatinio presavimo būdu ir sukepintos aukštoje temperatūroje, o tada tiksliai apdirbtos ir poliruotos, keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkinės įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija.
Dėl atsparumo aukštai temperatūrai, atsparumo korozijai, atsparumo dilimui ir izoliacijos savybių keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, kurioje veikia aukšta temperatūra, vakuumas arba korozinės dujos.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
