Didelio formato aliuminio oksido keraminė plokštė puslaidininkiniams ir pramoniniams įrenginiams
„St.Cera“ gamina didelio formato keramines plokštes iš 99,8 % gryno aliuminio oksido (Al₂O₃), kurių maksimalūs matmenys siekia iki 1500 mm ilgio ir 600 mm pločio. Mūsų tikslaus šlifavimo galimybės užtikrina 0,003 mm lygumą 100 mm atkarpoje ir 0,002 mm lygiagretumą, užtikrinant pastovią paviršiaus kokybę dideliems plotams apdirbti. Storis iki 100 mm, paviršiaus apdaila iki Ra0,1. Šios plokštės naudojamos kaip vakuuminių griebtuvų pagrindai, kaitinimo plokštės, elektros izoliacijos plokštės ir procesų kamerų grindys puslaidininkių, ekranų ir fotovoltinių elementų gamyboje. Galimos kiauryminės kiaurymės, išgręžtos angos ir briaunų profiliavimas.
Specifikacijos (remiantis 99,8 % Al₂O₃ir „St.Cera“ gamybos pajėgumai):
| Nekilnojamasis turtas | Vertė |
| Medžiaga | 99,8 % aliuminio oksido (dramblio kaulo spalvos) |
| Tankis | 3,93 g/cm³ |
| Lenkimo stipris | 361 MPa |
| Vickerso kietumas | 16 GPa |
| Dielektrinė stiprybė | 15 × 10⁶ V/m |
| Maksimalus ilgis | 1500 mm |
| Maksimalus plotis | 600 mm |
| Maksimalus storis | 100 mm |
| Plokštumas (100 mm) | 0,003 mm |
| Paralelizmas | 0,002 mm |
| Paviršiaus apdaila | Ra0.1 (šlifuotas/poliruotas) |
| Maksimali darbinė temperatūra | 1600 °C |
Paraiškos:
- · Vakuuminio griebtuvo pagrindinės plokštės didelėms plokštelėms ir plokštėms
- · Šildymo plokštės terminio apdorojimo įrangai
- · Elektros izoliacijos plokštės aukštos įtampos sistemose
- · Proceso kameros grindys ir įdėklų plokštės
Gamybos tikslumas:
Tiesumas: 0,005 mm, statmenumas: 0,005 mm, patikrinta lazeriniu interferometru.
Privalumai, palyginti su metalinėmis plokštėmis:
- · Nėra metalinio užterštumo – labai svarbu puslaidininkių procesams
- · Nulinis dujų išsiskyrimas – idealiai tinka vakuuminėms aplinkoms
- · Puikus atsparumas dilimui ir cheminėms medžiagoms
Pritaikymas:
Galimi individualūs skylių raštai, briaunų profiliai, laiptuoti paviršiai ir metalizuotos tvirtinimo vietos.
