Didelio grynumo aliuminio oksido keraminis efektorius plokštelių apdorojimo robotams

„St.Cera“ aliuminio oksido keraminis galinis efektorius yra tiksliai apdirbtas iš 99,8 % grynumo Al₂O₃, naudojant pažangią 5 ašių CNC šlifavimo įrangą. Mūsų gamybos pajėgumai apima tikslaus šlifavimo stakles ir CNC apdirbimo centrus, leidžiančius pagaminti sudėtingas geometrijas dideliu tikslumu. Galinis efektorius pasižymi plonu profiliu (vos 1,5 mm) su smailėjančia priekine briauna, kad būtų galima sklandžiai įdėti plokštelę. Medžiaga pasižymi dideliu standumu (Youngo modulis 380 GPa), puikiu atsparumu dilimui ir terminiu stabilumu iki 800 °C. Kiekvienas vienetas yra tiksliai šlifuojamas, kad būtų pasiektas 0,003 mm plokštumas, 0,002 mm lygiagretumas ir Ra0,1 paviršiaus apdaila, užtikrinanti nuoseklų plokštelės kontaktą ir veikimą be dalelių puslaidininkių FAB aplinkoje. Galima įsigyti nuo 150 mm iki 450 mm ilgio, su pritaikyta antgalių geometrija (kraštų sukibimas, Bernoulli, plokščias) ir tvirtinimo flanšais, kad tiktų OEM robotams. Paviršiaus apdailos variantai: šlifuotas, poliruotas arba ESD išsklaidymo danga (10⁶–10⁹ Ω/kv.).

Specifikacijos (remiantis 99,8 % Al₂O₃ir „St.Cera“ gamybos pajėgumai):

Paraiškos:

• · Plokštelių perkėlimas vakuuminiuose ir atmosferiniuose robotuose
• · FAB automatizavimo galiniai efektoriai 200 mm / 300 mm plokštelėms
• · Plonų plokštelių tvarkymas (su ESD parinktimi)

Gamybos pajėgumai:
Mūsų precizinio šlifavimo staklės ir CNC apdirbimo centrai leidžia gaminti sudėtingus keraminius komponentus su:

• · Didžiausias apdirbimo ilgis: 1500 mm
• · Didžiausias išorinis skersmuo: 600 mm
• · Minimalus vidinis skersmuo: 0,2 mm
• · Didžiausias storis: 100 mm

Kokybės kontrolė:
Tiesumas 0,005 mm, statmenumas 0,005 mm, apvalumas 0,002 mm, lygiagretumas 0,002 mm, koncentriškumas 0,01 mm, patikrintas KMM. Kiekvienas įrenginys valomas ultragarsu ir supakuotas 100 klasės švariose patalpose.