Teflonu dengtas keraminis efektorius – nelimpantis paviršius jautriam plokštelių tvarkymui
„St.Cera“ teflonu (PTFE) dengtas keraminis efektorius sujungia didelio stiprumo aliuminio oksido pagrindą su vienoda, mažos trinties PTFE danga (storis 15–30 μm). Danga pasižymi itin mažu trinties koeficientu (≤0,1), puikiu atsparumu cheminėms medžiagoms ir nelimpančiomis savybėmis, apsaugo nuo plokštelių prilipimo ir pašalina galinės pusės užterštumą. Po ja esantis keraminis substratas (99,8 % Al₂O₃) pasižymi dideliu lenkimo stiprumu (361–1000 MPa), atsparumu dilimui ir terminiu stabilumu iki 260 °C (dangos riba). Šis efektorius idealiai tinka gležnoms, plonoms ar lipnioms plokštelėms apdoroti (pvz., po fotorezisto padengimo ar cheminių procesų).
Specifikacijos (remiantis 99,8 % Al₂O₃ substratu su PTFE danga):
| Nekilnojamasis turtas | Vertė |
| Pagrindo medžiaga | 99,8 % aliuminio oksido (dramblio kaulo spalvos) |
| Dangos medžiaga | PTFE (teflonas) |
| Dangos storis | 15–30 μm |
| Trinties koeficientas (dengtas) | ≤0,1 |
| Pagrindo lenkimo stipris (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Pagrindo kietumas (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Pagrindo tankis | 3,93 g/cm³ |
| Maksimali darbinė temperatūra (dangos riba) | 260°C |
| Paviršiaus šiurkštumas (prieš dengimą) | Ra ≤0,4 μm |
| Dielektrinis stiprumas (pagrindas) | 15 × 10⁶ V/m |
Pastaba: PTFE danga riboja maksimalią temperatūrą iki 260 °C; aukštesnėms temperatūroms naudokite nepadengtas keramines arba kitas dangas.
Paraiškos:
- · Plokštelių tvarkymas po fotorezisto padengimo (lipnūs paviršiai)
- · Plonų arba trapių plokštelių perkėlimas (apsaugo nuo sulipimo)
- · Puslaidininkių tikrinimo ir metrologijos įrankiai
- · Švarių patalpų automatizavimas, kai reikia kuo labiau sumažinti dalelių užterštumą
Gamybos procesas:
Keraminis substratas sukepintas ir tiksliai šlifuotas → paviršiaus pašiurkštinimas (plazminiu ėsdinimu arba abrazyviniu būdu) → PTFE purškiama danga → terminis kietinimas 380 °C temperatūroje → galutinė patikra. Kiekvieno galinio efektoriaus dangos storis tikrinamas (sūkurinių srovių), sukibimas (skersinio pjovimo bandymas ASTM D3359) ir trinties koeficientas.
Kokybės kontrolė:
100 % vizualinė patikra, ar nėra skylučių ar burbuliukų; dangos storio vienodumas ±5 μm ribose; nėra delaminacijos po 90° lenkimo bandymo su kontroliniu kodu. Matmenų patikrinimas pagal gamintojo (OEM) toleranciją (ilgis ±0,05 mm, lygumas ≤0,1 mm).
Privalumai, palyginti su nepadengtomis ar kitomis dangomis:
- · Nepridegantis paviršius apsaugo plokšteles nuo prilipimo ir lūžimo
- · Mažiausias trinties koeficientas tarp keraminių dangų
- · Puikus atsparumas cheminėms medžiagoms (rūgštims, bazėms, tirpikliams)
- · Sumažina dalelių susidarymą, nes neleidžia medžiagai pernešti
Apribojimai (pastabos dėl medžiagos nuokrypio):
PTFE danga nėra gauta iš pateiktų medžiagų savybių lentelių (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Pagrindo savybės griežtai atitinka pateiktą duomenų lapą (99,8 % Al₂O₃). Dangos savybės pagrįstos pramonės standartų PTFE specifikacijomis, nes dangos duomenys nebuvo pateikti. Jei temperatūra viršija 260 °C, rekomenduojamas nepadengtas keraminis galinis efektorius.*
Pritaikymas:
Galima įsigyti 150–1500 mm ilgio, antgalių formų (su briaunomis, Bernulio, plokščios), tvirtinimo flanšų raštų pagal OEM brėžinį. Dalinis padengimas (tik sąlyčio vietos) arba visiškas padengimas pasirinktinai.
Užsisakykite pavyzdį sukibimo ir trinties bandymui.
