-
ST.CERA pritaikyti puslaidininkių įrangos keraminiai griebtuvai
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
Puslaidininkinių zondų įrangos keraminės atsarginės dalys
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
Didelio grynumo aliuminio oksido keraminės dalys puslaidininkių ir pramoninėms reikmėms
„St.Cera“ gamina tiksliai apdirbtas aliuminio oksido (Al₂O₃) keramines detales pagal klientų specifikacijas. Pagaminti iš 99,8 % gryno aliuminio oksido, šie komponentai pasižymi puikiu lenkimo stiprumu (361 MPa), dideliu kietumu (16 GPa) ir išskirtiniu dielektriniu stiprumu (15 × 10⁶ V/m). Sukurta puslaidininkinei įrangai, dilimui atspariems mazgams, elektros izoliatoriams ir aukštai temperatūrai atspariems įtaisams, medžiaga beveik neįgeria vandens (0 %), o jos šiluminio plėtimosi koeficientas yra 7,2 × 10⁻⁶/℃, užtikrinant matmenų stabilumą ekstremaliomis sąlygomis.
-
Keraminis atraminis kaištis puslaidininkių procesų įrangai
„St.Cera“ keraminiai atraminiai kaiščiai (dar vadinami kėlimo kaiščiais arba atraminiais kaiščiais) naudojami puslaidininkių procesų kamerose, kad būtų galima pakelti plokšteles arba substratus juos tvarkant, kaitinant arba aušinant. Šie kaiščiai pagaminti iš 99,8 % aliuminio oksido arba silicio nitrido, todėl pasižymi dideliu gniuždymo stiprumu, terminiu stabilumu ir atsparumu cheminėms medžiagoms. Pusrutulio arba plokščio antgalio konstrukcija apsaugo plokšteles nuo subraižymo.
-
Didelio grynumo aliuminio oksido keraminis šerdis puslaidininkiniams įrenginiams
„St.Cera“ aliuminio oksido keramikos šerdis yra tiksliai suformuota iš 99,8 % didelio grynumo Al₂O₃, pasižyminti išskirtiniu dielektriniu stiprumu (15 × 10⁶ V/m), terminiu stabilumu iki 1600 °C ir atsparumu šliaužimui esant apkrovai. Šios šerdys naudojamos kaip konstrukciniai komponentai aukštos temperatūros procesų įrenginiuose, šildytuvų pagrinduose, plazmos kamerų įdėkluose ir elektriniuose izoliatoriuose. Didelis medžiagos kietumas (16 GPa) ir maža vandens absorbcija (0 %) užtikrina ilgalaikį patikimumą atšiauriomis sąlygomis.
-
ST.CERA pritaikyta aliuminio oksido keraminiams žiedams ir keraminiams diskams
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
