Silicio karbido (SiC) keraminis efektorius – didelis standumas, skirtas aukštos temperatūros plokštelių apdorojimui
„St.Cera“ SiC keraminis galinis efektorius pagamintas iš labai gryno silicio karbido (SiC kiekis 99,72 %, laisvojo Si 0,05 %), naudojant S1111 partijos medžiagą. Jis pasižymi išskirtinėmis mechaninėmis savybėmis: lenkimo stipris 449 MPa (išmatuotas), tamprumo modulis 457 GPa (išmatuotas) ir Vikerso kietumas 25–28 GPa (tipinis). Mažas tankis (3,10–3,15 g/cm³, tipinis) suteikia didelį savitąjį standumą, idealiai tinkantį greitaeigiams plokštelių perkėlimo robotams. Šis galinis efektorius, kurio šilumos laidumas yra 120–150 W/m·K (tipinis), o šiluminio plėtimosi koeficientas – 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (tipinis), efektyviai išsklaido šilumą ir išlaiko matmenų stabilumą dirbant aukštoje temperatūroje (iki 1600–1700 °C, be apkrovos). Juoda/pilka spalva ir nulinė vandens absorbcija užtikrina suderinamumą su švariomis patalpomis.
Specifikacijos(remiantis pateikta SiC S1111 bandymo ataskaita ir tipinėmis vertėmis):
| Nekilnojamasis turtas | Vertė |
| Medžiaga | SiC (99,72 % SiC, 0,05 % laisvojo silicio) |
| Spalva | Juoda/pilka |
| Tankis | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Vandens absorbcija | 0% |
| Lenkimo stipris | 449 MPa (vidutinis) |
| Atsparumas lūžiams | 3,12 MPa·m¹/² (vidutinis) |
| Elastinis modulis | 457 GPa |
| Vikerso kietumas | 25–28 GPa |
| Šilumos laidumas (25 °C) | 120–150 W/m·K |
| Šiluminė galia (25–1000 °C) | 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ |
| Maksimali naudojimo temperatūra (be apkrovos) | 1600–1700 °C |
Paraiškos:
● Aukštos temperatūros plokštelių apdorojimas (po atkaitinimo, RTP, epitaksija)
● Plazminio ėsdinimo kameros, kurioms reikalingas didelis atsparumas erozijai
● Didelės spartos perkėlimo robotai (lengvi, didelio standumo)
Gamyba:
SiC miltelių sukepinimas → tikslus CNC šlifavimas rankenos profiliui ir tvirtinimo detalėms → paviršiaus šlifavimas → ultragarsinis valymas. 100 % matmenų patikra ir helio nuotėkio bandymas vakuuminėms reikmėms.
Kokybės kontrolė:
● KMM ilgio, pločio ir plokštumos patikrinimas
● Lenkimo stiprumo bandymas kiekvienai partijai (pagal bandymo ataskaitos standartą)
● Vizualinis paviršiaus defektų patikrinimas mikroskopu
Privalumai, palyginti su aliuminio oksidu ar metalu:
● 2 kartus didesnis tamprumo modulis (aliuminio oksido atveju – 457 GPa, palyginti su ~380 GPa) – mažesnė deformacija
● 3 kartus didesnis šilumos laidumas – greitesnis šilumos išsklaidymas
● Atlaiko >1600 °C temperatūrą, palyginti su aliuminio oksido 800 °C temperatūra ore
● Mažesnis tankis nei plieno – 40 % mažesnis svoris
Pritaikymas:
Ilgis 150–450 mm, antgalio formos (su briaunomis, Bernulio, plokščias), tvirtinimo flanšų išdėstymas pagal OEM brėžinį.
*Visi aukščiau pateikti mechaniniai duomenys paimti iš pateiktos bandymų ataskaitos (partija S1111). Šiai SiC rūšiai būdingos šiluminės ir kietumo vertės; dėl konkrečios partijos sertifikavimo susisiekite su mumis.*
