Aliuminio oksido PVD izoliacinis žiedas fizikinio garinimo nusodinimo sistemoms
„St.Cera“ PVD izoliacinis žiedas pagamintas iš 99,8 % gryno aliuminio oksido (Al₂O₃), skirtas naudoti fizikinio garinimo (PVD) sistemose. Žiedas užtikrina elektrinę izoliaciją tarp kameros komponentų, apsaugo nuo kibirkščių susidarymo ir užtikrina stabilų plazmos veikimą. Pagrindinės savybės apima didelį dielektrinį stiprumą (15 × 10⁶ V/m), savitąją varžą >10¹⁴ Ω·mm²/m ir terminį stabilumą iki 1600 °C. Mūsų tikslaus apdirbimo galimybės leidžia pasiekti iki 600 mm išorinius skersmenis, iki 0,2 mm vidinius skersmenis, 0,003 mm plokštumą ir Ra0,1 paviršiaus apdailą. Žiedo nulinis poringumas ir cheminis inertiškumas užtikrina ilgalaikį patikimumą agresyvioje dulkinimo aplinkoje.
Specifikacijos (remiantis 99,8 % Al₂O₃ir „St.Cera“ gamybos pajėgumai):
| Nekilnojamasis turtas | Vertė |
| Medžiaga | 99,8 % aliuminio oksido (dramblio kaulo spalvos) |
| Tankis | 3,93 g/cm³ |
| Lenkimo stipris | 361 MPa |
| Vickerso kietumas | 16 GPa |
| Dielektrinė stiprybė | 15 × 10⁶ V/m |
| Specifinis pasipriešinimas | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maksimalus išorinis skersmuo | 600 mm |
| Minimalus vidinis skersmuo | 0,2 mm |
| Maksimalus storis | 100 mm |
| Plokštumas | 0,003 mm |
| Paralelizmas | 0,002 mm |
| Paviršiaus apdaila | Ra0.1 |
| Maksimali darbinė temperatūra | 1600 °C |
Paraiškos:
- · Taikinio atraminės plokštės izoliatoriai PVD sistemose
- · Kameros pralaidumo izoliatoriai
- · Ekrano žiediniai izoliatoriai purškimo sistemose
- · Aukštos įtampos izoliacija plazmos kamerose
Gamybos tikslumas:
Koncentriškumas: 0,01 mm, apvalumas: 0,002 mm, tiesumas: 0,005 mm, statmenumas: 0,005 mm, patikrinta KMM.
APrivalumai, palyginti su polimeriniais izoliatoriais:
- · Atlaiko 1600 °C temperatūrą, palyginti su polimerų <300 °C temperatūra
- · Nėra dujų išsiskyrimo – išlaiko vakuumo vientisumą
- · Atsparus plazmos erozijai ir cheminiam poveikiui
Pritaikymas:
Galimi individualūs skerspjūviai, tvirtinimo ypatybės, laiptelių profiliai ir keli koncentrinių žiedų dizainai.
